psd系列產(chǎn)品是數(shù)字控制的臺(tái)式清洗設(shè)備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設(shè)備配備一個(gè)帶反射罩的高強(qiáng)度uv格柵燈盤, 和可調(diào)節(jié)高度的樣品臺(tái)，用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統(tǒng)具有進(jìn)出氣接口。該系統(tǒng)由一個(gè)方便的預(yù)設(shè)置控制器控制，非常容易操作。

清洗設(shè)備的核心是低壓石英汞燈，產(chǎn)生254和185nm范圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產(chǎn)生，有機(jī)污染物分子在吸收254nm波長(zhǎng)紫外線后被激發(fā)或分解。激發(fā)的有機(jī)污染物可以和等離子氧原子反應(yīng)形成氣體，比如co2,h2o等。整個(gè)過(guò)程在室溫**發(fā)生，并且只需要1到幾分鐘完成。